第十届理事会理事单位理事（任期2026年1月-2031年1月）
| 序号 | 工作单位 | 理事姓名 | 工作单位职务 |
| 1 | 北方华创科技集团股份有限公司 | 董博宇 | 高级副总裁 |
| 2 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 王娜 | CSO(首席战略官) |
| 3 | 中电科电子装备集团有限公司 | 周大良 | 副总经理 |
| 4 | 北京京运通科技股份有限公司 | 冯震坤 | 董事、副总经理 |
| 5 | 北京清大天达光电科技股份有限公司 | 陆 峰 | 总经理 |
| 6 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 | 于 浩 | 总经理 |
| 7 | 北京锐洁机器人科技有限公司 | 刘冬梅 | 总经理 |
| 8 | 阿尔西技术有限公司 | 谭 信 | 销售总监 |
| 9 | 华海清科股份有限公司 | 王同庆 | 董事长、总经理 |
| 10 | 上海汇盛无线电专用科技有限公司 | 刘正德 | 董事长 |
| 11 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 陶 珩 | 执行总监（集团副总裁） |
| 12 | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 | 王 坚 | 总经理 |
| 13 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 何 乐 | 副总经理 |
| 14 | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 | 马兰 | 总裁办主任 |
| 15 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 孙亮 | 部长 |
| 16 | 上海胤舜密封技术有限公司 | 王春杰 | 副总经理 |
| 17 | 魏德米勒电联接（上海）有限公司 | 吕树贤 | 大中华区市场总监 |
| 18 | 唐山晶玉科技股份有限公司 | 杨福占 | 董事长 |
| 19 | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 | 程 虎 | 副总裁 |
| 20 | 拓荆科技股份有限公司 | 王昕 | 高级副总裁 |
| 21 | 大连连城数控机器股份有限公司 | 逯占文 | 技研中心总经理 |
| 22 | 丹东奥龙射线仪器集团有限公司 | 谢晓燕 | 市场总监 |
| 23 | 青岛华旗科技有限公司 | 刘 洋 | 总经理 |
| 24 | 青岛金立盾电子设备有限公司 | 陈辉 | 销售总监 |
| 25 | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 | 方 林 | 总经理 |
| 26 | 铜陵三佳山田科技股份有限公司 | 王 飞 | 董事长、总经理 |
| 27 | 常州雷宁电磁屏蔽设备有限公司 | 吴 川 | 总经理 |
| 28 | 快克智能装备股份有限公司 | 施雨珂 | 科技市场战略总监 |
| 29 | 日联科技集团股份有限公司 | 张 帆 | 研究院长 |
| 30 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 周 仁 | 总经理 |
| 31 | 江阴市辉龙科技股份有限公司 | 谢 龙 | 董事长 |
| 32 | 江苏苏净集团有限公司 | 褚祥元 | 副总经理 |
| 33 | 苏州苏试试验集团股份有限公司 | 黄晓光 | 总经理 |
| 34 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 姜忠来 | 总裁 |
| 35 | 苏州艾科瑞斯智能装备股份有限公司 | 关蕊 | 总经理 |
| 36 | 苏州广林达电子科技有限公司 | 梁 鹏 | 业务总监 |
| 37 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 孙志超 | 总经理助理兼营销中心副总监 |
| 38 | 苏州智程半导体设备科技股份有限公司 | 杨仕品 | 总经理 |
| 39 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 朱 亮 | 副总裁、研发常务副主任 |
| 40 | 浙江森永光电设备有限公司 | 李正良 | 总经理 |
| 41 | 天通智能装备有限公司 | 诸旻昊 | 光能设备部副总经理 |
| 42 | 宁波云德半导体材料有限公司 | 汤 棵 | 副总经理 |
| 43 | 湖南宇晶机器股份有限公司 | 邓湘浩 | 董事、营销总经理 |
| 44 | 深圳格芯集成电路装备有限公司 | 陈 薇 | 业务总监 |
| 45 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 周惟仲 | 董事长助理、市场研究中心总经理 |
| 46 | 西北机器有限公司 | 杨 超 | 研发中心主任 |
| 47 | 成都南光机器有限公司 | 刘安良 | 总经理助理 |
| 48 | 中国科学院光电技术研究所 | 赵立新 | 部门主任 |
| 49 | 中科九微科技股份有限公司 | 陈 林 | 董事长 |
| 50 | 北京中科同志科技股份有限公司 | 文爱新 | 经理 |
| 51 | 天津吉兆源科技有限公司 | 王丽 | 副总经理 |
| 52 | 上海集迦电子科技有限公司 | 朱文龙 | 总经理 |
| 53 | 堀场(中国)贸易有限公司 | 杨迪 | 半导体业务部总经理 |
| 54 | 上海汉钟精机股份有限公司 | 晋能龙 | 专案经理 |
| 55 | 山东联盛电子设备有限公司 | 马玉水 | 总经理 |
| 56 | 威海奥牧智能科技有限公司 | 马 磊 | 总经理 |
| 57 | 无锡冠亚恒温制冷技术有限公司 | 颜厥否 | 总经理 |
| 58 | 源卓微纳科技（苏州）股份有限公司 | 张雷 | 总裁 |
| 59 | 苏州维嘉科技股份有限公司 | 常 远 | 副总经理 |
| 60 | 嵩力欣精密科技(昆山)有限公司 | 危会兴 | 总经理 |
| 61 | 杭州慧翔电液技术开发有限公司 | 刘赛波 | 总经理助理 |
| 62 | 浙江德龙科技有限公司 | 林德陇 | 总经理 |
| 63 | 亚德客（中国）有限公司 | 陈耀坤 | 行业部总监 |
| 64 | 宁波尚进自动化科技有限公司 | 田志 | 总经理 |
| 65 | 四川丹甫环境科技有限公司 | 杨志林 | 营运与人力资源部部长 |
| 66 | 四川英杰电气股份有限公司 | 周英怀 | 总经理 |
| 67 | 星奇（上海）半导体有限公司 | 杨绍辉 | 副总经理 |
| 68 | 无锡邑文维微电子科技股份有限公司 | 廖海涛 | 董事长 |
| 69 | 深圳市佳迈自动化股份有限公司 | 周 杨 | 市场总监 |
| 70 | 北京烁科中科信电子装备有限公司 | 李进 | 总经理 |
| 71 | 退休 | 王志越 |
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