根据中国电子专用设备工业协会2024年标准制修订计划安排，中国电子专用设备工业协 会标委会已组织完成《电子专用设备用13.56 MHz 射频电源通用技术规范》、《真空晶圆搬运 机械手技术规范》、《半导体集成电路制造用原子层沉积设备》三项团体标准项目制修订工作， 在以上标准批准发布之前，为进一步听取业内各界意见，现予以公示，请各单位组织有关人员 认真研究，并将意见（填写附件3专家意见反馈表）于2025年12月13日前发送至协会标 准化工作邮箱（cepea1987@126.com）。 2024 年第一批团体标准清单、团体标准的报批稿及编制说明、专家意见反馈表请登陆协 会网站（www.cepea.com）点击“团体标准与知识产权”栏目查看。
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