2026年1月20日，海关统计数据在线查询平台公布了2025年13类主要半导体设备进口27282台，同比增加-7.08％，进口金额202.35亿美元，同比增长3.17％。
2025年，等离子体干法刻蚀机和化学气相沉积设备仍然是进口金额最大的二类半导体制造设备，占13类主要半导体设备进口总金额的62.46％。
2025年，塑封压机进口金额增长最快，同比增长40.15％。分步重复光刻机、硅单晶炉和离子注入机等三类半导体设备进口金额分别减少35.23%、28.09%和25.27%。
2025年13类主要半导体设备中国大陆进口数据表
设备名称 | 进口量（台） | 进口金额(万美元) | |||
2025年 1-12月 | 同比 增长％ | 2025年 1-12月 | 同比 增长％ | ||
1 | 硅单晶炉 | 31 | -46.5 | 3,503.3 | -28.09 |
2 | 研磨机 | 517 | -8.01 | 43,984.7 | 14.95 |
3 | 切割设备 | 109 | -88.33 | 20,906.4 | -4.68 |
4 | 化学机械抛光机CMP | 401 | 8.09 | 77,596.9 | 16.24 |
5 | 氧化扩散炉 | 1217 | -26.95 | 163,045.3 | -22.04 |
6 | 化学气相沉积设备CVD | 1780 | -3.05 | 621,832.4 | 14.23 |
7 | 物理气相沉积设备PVD | 528 | -15.38 | 150,288.1 | -16.33 |
8 | 分步重复光刻机 | 196 | -18.33 | 52,435.2 | -35.23 |
9 | 等离子体干法刻蚀机 | 1624 | 4.71 | 642,121.4 | 23.24 |
10 | 离子注入机 | 448 | -18.99 | 135,286.2 | -25.27 |
11 | 塑封压机 | 174 | 41.46 | 8,878.1 | 40.15 |
12 | 引线键合机 | 10631 | -2.23 | 62,391.2 | 0.87 |
13 | 集成电路工厂专用自动搬运机器人 | 9626 | -3.45 | 41,212.1 | -8.63 |
合 计 | 27282 | -7.08 | 2,023,481.3 | 3.17 | |
2025年化学气相沉积设备发货地情况表（进口额前五名）
新加坡 | 日本 | 韩国 | 马来西亚 | 美国 | |
数量(台) | 551 | 502 | 213 | 145 | 170 |
进口额(万美元) | 347,811.3 | 84,475.3 | 71,039.7 | 58,619.0 | 21,945.4 |
2025年化学气相沉积设备等进口收货地情况表（进口额前五名）
广东省 | 上海市 | 北京市 | 江苏省 | 湖北省 | |
数量(台) | 353 | 326 | 151 | 256 | 176 |
进口额(万美元) | 185,939.5 | 134,649.8 | 67,026.2 | 48,163.2 | 43,416.8 |
2025年等离子体干法刻蚀机进口发货地情况表（进口额前五名）
马来西亚 | 日本 | 中国台湾 | 韩国 | 美国 | |
数量(台) | 283 | 430 | 142 | 149 | 293 |
进口额(万美元) | 250,803.2 | 192,598.2 | 85,166.7 | 40,155.6 | 32,463.4 |
2025年离子体干法刻蚀机进口收货地情况表（进口额前五名）
广东省 | 上海市 | 北京市 | 江苏省 | 安徽省 | |
数量(台) | 383 | 340 | 239 | 319 | 52 |
进口额(万美元) | 249,490.0 | 181,789.3 | 63,430.3 | 32,397.6 | 31,069.1 |
2025年氧化扩散炉发货地情况表（进口额前五名）
日本 | 美国 | 新加坡 | 德国 | 中国台湾 | |
数量(台) | 775 | 97 | 61 | 102 | 71 |
进口额(万美元) | 74,496.9 | 29,013.1 | 26,866.8 | 18,306.6 | 6,799.9 |
2025年氧化扩散炉收货地情况表（进口额前五名）
广东省 | 上海市 | 北京市 | 江苏省 | 安徽省 | |
数量(台) | 272 | 223 | 138 | 233 | 72 |
进口额(万美元) | 41,688.6 | 38,731.3 | 23,398.7 | 18,062.8 | 11,356.5 |
2025年离子注入机进口发货地情况表（进口额前四名）
美国 | 日本 | 韩国 | 新加坡 | |
数量(台) | 306 | 66 | 19 | 41 |
进口额(万美元) | 93,915.3 | 16,145.8 | 11,917.9 | 11,788.9 |
2025年离子注入机收货地情况表（进口额前五名）
数量(台) | 上海市 | 江苏省 | 北京市 | 广东省 | 浙江省 |
数量(台) | 96 | 64 | 65 | 49 | 49 |
进口额(万美元) | 26,002.7 | 18,172.2 | 16,639.2 | 16,425.5 | 14,572.6 |
2025年物理气相沉积装置进口发货地情况表（进口额前五名）
新加坡 | 美国 | 日本 | 瑞士 | 中国台湾 | |
数量(台) | 140 | 98 | 74 | 44 | 106 |
进口额(万美元) | 99,633.4 | 13,216.4 | 10,518.0 | 8,133.9 | 6,382.8 |
2025年物理气相沉积装置收货地情况表（进口额前五名）
数量(台) | 上海市 | 广东省 | 江苏省 | 北京市 | 四川省 |
数量(台) | 124 | 78 | 114 | 48 | 21 |
进口额(万美元) | 48,845.4 | 28,379.3 | 21,457.6 | 13,050.4 | 11,291.3 |
（数据来自海关统计数据在线查询平台）
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