会员动态-中国电子专用设备工业协会

北方华创：专利申请总量突破10000件

摘要：近期，北方华创科技集团股份有限公司（简称：“北方华创”）专利申请总量突破10000件，其中发明专利占比超80%，海外专利占比超20%，布局覆盖欧美日韩等关键区域。公司已获国家级专利奖项5项，拥有多个国家及省市级技术中心，并获得国家及北京市科学技术奖13次。北方华创将持续聚焦半导体基础产品领域，以技术创新推动产业链

中电科风华：Venus 5100实现图形化晶圆检测全新跨越

摘要：中电科风华信息装备股份有限公司(简称：“中电科风华”)自主研发的Venus 5100图形化晶圆缺陷检测设备，以多模态成像与智能算法为核心，核心性能比肩国际一流水平，为化合物半导体、硅基成熟制程及先进封装提供了优质检测选择，并已获行业头部客户验证。设备集成“明场+暗场+透射”多模态光学系统，通过独有的彩色成像技术有

中科飞测：发布首台电子束量测设备（CD-SEM）

摘要：12月26日，深圳中科飞测科技有限公司（简称：“中科飞测”）发布首台电子束关键尺寸量测设备MAGNOLIAEBM-600。该设备面向1X纳米先进逻辑与存储芯片的制造关键制程，在多项核心性能上达到或超越国际同类水平。其成功研发攻克了长期依赖进口的技术壁垒，精准满足先进制程对高精度、高稳定性的严苛需求。中科飞测首款电子束设备

上微：1.1亿中标科技部采购光刻机项目

摘要：中国国产光刻机取得新进展。12月25日，上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称：“上微”）成功中标科学技术部采购项目，将提供1台步进扫描式光刻机（型号SSC800/10），中标金额约1.1亿元。根据采购信息，该设备具备高分辨率（≤110nm）与优异的套刻精度（≤15nm），支持微米乃至亚微米级结构的稳定加工。（来自：大半导

芯碁微装：在手订单超亿元领跑先进封装

摘要：合肥芯碁微电子装备有限公司（简称：“芯碁微装”）WLP系列助力头部厂商量产类CoWoS-L，在手订单超亿元领跑先进封装芯碁微装在先进封装领域取得重要进展，其WLP系列直写光刻设备已助力多家头部厂商实现类CoWoS-L产品的量产，当前在手订单金额已突破1亿元。该系列通过核心技术迭代，有效解决了行业关键痛点：其数字掩模直写技

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