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上微：1.1亿中标科技部采购光刻机项目

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中国国产光刻机取得新进展。12月25日，上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称：“上微”）成功中标科学技术部采购项目，将提供1台步进扫描式光刻机（型号SSC800/10），中标金额约1.1亿元。根据采购信息，该设备具备高分辨率（≤110nm）与优异的套刻精度（≤15nm），支持微米乃至亚微米级结构的稳定加工。

（来自：大半导体产业网）

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