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中科飞测：发布首台电子束量测设备（CD-SEM）

产品描述

12月26日，深圳中科飞测科技有限公司（简称：“中科飞测”）发布首台电子束关键尺寸量测设备MAGNOLIAEBM-600。该设备面向1X纳米先进逻辑与存储芯片的制造关键制程，在多项核心性能上达到或超越国际同类水平。其成功研发攻克了长期依赖进口的技术壁垒，精准满足先进制程对高精度、高稳定性的严苛需求。中科飞测首款电子束设备完善了前道量测整体解决方案，可协同现有产品线，为客户提供更完整的芯片良率管理一站式服务。

（来自：中科飞测）


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