晶盛机电:“200mm区熔硅单晶炉国产设备研制”课题通过专家验收(2017-5-29)



晶盛机电:“200mm区熔硅单晶炉国产设备研制”课题通过专家验收

       由浙江晶盛机电股份有限公司承担的“200mm区熔硅单晶炉国产设备研制”课题,近日顺利通过“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项(简称“02 专项”)验收专家组的正式验收。

       该课题是由天津市环欧半导体材料技术有限公司承担的02专项 “区熔硅单晶片产业化技术与国产设备研制”项目下的课题之一。

       专家组认为该课题研制出200mm区熔硅单晶炉,各项技术指标、经济指标、知识产权指标、人才队伍建设指标及平台建设指标均达到任务合同书的考核要求。提供的验收资料齐全。任务验收专家组同意课题通过验收。”

       截至目前,已在公司研制的200mm区熔硅单晶炉上成功拉制出国内首根200mm区熔硅单晶棒,验证了公司自主研制的区熔硅单晶炉技术取得了突破性进展,相关设备获得了 26 项国家专利,其中炉内晶体剪除机构、多 CCD成像和辅助加热等技术为国际首创,课题产品已成功产业化并形成销售,打破了国外大直径区熔硅单晶炉的技术垄断,缩小了我国区熔单晶硅材料制造技术与国际先进水平的差距,取得了良好的社会、经济效益,产业化前景优势明显。

(来自:晶盛机电)