四十五所:200mm CMP通过天津中芯国际验证(2018-10-18)



四十五所:200mm CMP通过天津中芯国际验证

近日,中芯国际天津厂传来捷报,通过一年的生产线工艺验证,中国电子科技集团第四十五研究所自主研发的国产首台完全拥有自主知识产权的化学机械平坦化设备(CMP)通过了验证。

目前,设备在生产线上以7×24小时的方式承担着生产任务,截止日前,设备共完成2万片以上产品的平坦话工艺,产能及稳定性数据达到生产线的要求水准,提升了电科装备在集成电路核心装备领域的话语权和影响力。

(来自:电科装备)