中微:超大反应腔MOCVD设备荣获22届中国国际工业博览会银奖(2018-10-18)



中微:超大反应腔MOCVD设备荣获

第二十届中国国际工业博览会银奖

中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称中微)作为国内集成电路高端装备的领军企业,受邀参加了第20届中国国际工业博览会工博会。科技部党组成员、科技日报社社长李平一行莅临中微展台。中微展台现场也吸引了众多专家、媒体记者和同行的驻足。

中微展出的716mm超大反应腔MOCVD设备Prismo A7®荣获了本届工博会银奖。Prismo A7® MOCVD设备,是用于生产半导体照明蓝光LED芯片的最关键设备。中微的Prismo A7® MOCVD设备在国内市场的份额已经超过70%,打破了国外公司在MOCVD设备市场的长期垄断。

(来自:上海科创集团)