电科装备:发布国内首台高产能平板式PECVD(2018-12-13)



电科装备发布国内首台高产能平板式PECVD

近日由中电科电子装备集团有限公司以下简称电科装备举办的国内首台高产能平板式PECVD新产品发布会暨技术研讨会在上海隆重举行并在上海尚德PERC电池生产线现场得到了行业内30多家一流光伏企业的共同见证

电科装备下属中国电子科技集团公司第四十八研究所瞄准高效PERC电池生产中的核心工艺装备PECVD,突破了远程微波等离子体放电液态源安全输运等多项关键技术开发了高质量氧化铝/氮化硅薄膜沉积工艺成功研发了高产能的平板式PECVD设备

上海尚德总经理何悦指出目前在其生产线上量产的平板式PECVD设备在设备利用率产能成膜效果等方面均已达到进口设备的先进水平其中维护周期比进口设备提升60%,具有明显的优势

来自电科装备