“45~22nm低能大束流离子注入机研发及产业化”项目通过验收(2018-2-6)



4522nm低能大束流离子注入机研发及产业化”

项目通过验收

    由北京中科信电子装备有限公司等六家单位承担的“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项(02专项)“4522nm低能大束流离子注入机研发及产业化”项目,130日在北京通过专家组的验收。

该项目完成了:4522nm大束流离子注入机关键技术的研究,开发了适用于12英寸生产线4522nm工艺制程的低能大束流离子注入机,并已销售1建立了4522nm大束流离子注入机相应关键技术实验研究平台;形成完整的相关知识产权体系,该项目申请发明专利257项,其中国际27项,国内230项。