中微:7纳米芯片刻蚀机亮相央视《大国重器》,展现国之重器魅力(2018-3-27)



中微:7纳米芯片刻蚀机亮相央视《大国重器》,展现国之重器魅力

3月3日晚,央视大型纪录片《大国重器》重磅播出,中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称:中微)7纳米芯片刻蚀机荣幸被收录其中。这是中国自主研发的第一批7纳米芯片刻蚀机,是芯片制造和微观加工最核心最先进的设备之一。

ICP芯片刻蚀中,关键尺寸的大小和芯片温度有着一一对应的关系。如果我们要求刻蚀均匀性达到1纳米,那么整个芯片的温度差异就要控制在2度以内。中微自主研发的温控设计,可以让刻蚀过程的温控精度保持在0.75度以内,优于国际水平。

气体喷淋盘是刻蚀机最重要的核心部件之一,也是7纳米芯片刻蚀机中的一项关键技术点。它的材料选择和设计对于刻蚀机性能指标的影响至关重要。中微和国内厂家合作,研制和优化了一整套采用等离子体增强的物理气象沉积金属陶瓷的方法,这种创新的方法极大地改善了材料的性能,其晶粒更为精细、致密,缺陷几乎为零。相比国外当前采用的喷淋盘,中国的陶瓷镀膜喷淋盘寿命可以延长一倍,造价却不到五分之一。

中微自主研发的7纳米芯片刻蚀机让中国芯片制造装备与世界最先进水平同步。

中微董事长兼首席执行官尹志尧博士在采访中最后谈到:2020年,在我国新的芯片生产线上的投资将会超过美国、日本和韩国等地区的投资,中国会变成一个最大的芯片生产基地。我们相信到2030年,我国的芯片和微观器件的加工能力和规模一定能完全赶上并在不少方面超过国际先进水平。

(来自:中微半导体设备)