中科信:中束流离子注入机剂量控制技术取得重大突破(2018-8-24)



中科信:中束流离子注入机剂量控制技术取得重大突破

    近日,北京中科信电子装备有限公司(以下简称中科信)研制的中束流离子注入机,剂量注入精度误差由2%提升到0.1%,取得了重大技术突破,达到业界先进水平。

    剂量控制技术作为离子注入机的关键技术,直接关系到设备的工艺性能,并且制约着机台的工艺拓展,一直以来备受关注。中科信研发团队结合用户需求,攻克此技术难题,将设备剂量注入精度提高至baseline机台水平。目前,此项技术已应用至用户机台上,得到了用户的高度认可。

(来自:电科装备)