北方华创微电子:8英寸全新装备助力集成电路特色工艺发展(2018-9-21)



北方华创微电子:8英寸全新装备助力集成电路特色工艺发展

当前,汽车电子、物联网、云计算等行业发展势头强劲,对MOSFETIGBTMCUMEMS等产品需求旺盛,带动8英寸晶圆厂产能满载,市场紧俏,扩产热潮高涨,与此同时新需求也带动新工艺、新挑战层出不穷。北京北方华创微电子装备有限公司将多年12英寸先进工艺设备的开发理念,应用于8英寸特色设备的设计与创新,与客户一起,面对新结构、新材料、新工艺,定制开发,提供针对新需求的全新解决方案,并从硬件设计、软件开发、工艺支持、零部件供应等多方位,不断与产业链深度合作,打造真正为客户创造价值、助力特色工艺发展的国产高端装备解决方案。目前北方华创微电子可提供ETCHPVDCVDFurnaceWet Clean五大类、10余种特色8英寸工艺设备。

值得一提的是,北方华创微电子针对深沟槽刻蚀工艺特点定向开发、具备高刻蚀选择比和低等离子体损伤等优势的508DTE深硅刻蚀设备,以及引入新型控制设计理念,保障Taiko Wafer及整面减薄Wafer无损传输、并提供更多工艺位置的eVictor GX20 PVD设备,不久前再次斩获国内IGBT主流生产线的批量订单,切实为我国集成电路特色工艺“安全自主可控”的“芯”征途,开疆拓土,担当践行。

(来自:北方华创)