上方电子:首台G8.6代PVD装备顺利交付用户(2019-6-18)



上方电子:首台G8.6PVD装备顺利交付用户

57日,浙江上方电子装备有限公司(以下简称:上方电子)成功研制的首台8.6代新型显示PVD装备,顺利交付用户。

根据CINNO Research供应链调查数据显示,截止2018年底Thin Film设备(包含PVD,CVD等成膜设备)国产化渗透率几乎为0%,其中PVD设备始终依赖进口,随着上方电子首台8.6代新型显示PVD装备顺利完成发货,标志着国产设备商亦开始打破依赖进口的被动局面,实现了突破。

上方电子自主研发的8.6Array PVD装备,最大玻璃基板尺寸为2.25m×2.6m,采用旋转阴极镀膜技术,可实现薄膜沉积厚度非均匀性<5%,靶材利用率>80%。装备已获得国内技术专利11项,具有生产工艺先进、性能稳定、操作简单、维护保养成本低等优点。上方电子8.6PVD装备的交付,将进一步推动装备国产化的进程,有助于全方位提升我国新型显示产业竞争力。

(来自:CINNO