电科装备:成功研制国内首台十管PECVD设备(2019-6-18)



电科装备:成功研制国内首台十管PECVD设备

日前,中电科电子装备集团有限公司(简称:电科装备)下属湖南红太阳光电公司成功研制出国内首台十管PECVD设备,设备完全自主可控。

PECVD设备镀膜效果直接关系到电池片的最终转换效率与电性能参数,是晶体硅太阳能电池片生产的核心装备之一,其投资成本约占整个电池片生产线成本的四分之一。电科装备自主研制的十管PECVD设备地产能与两台五管PECVD设备相同,但成本降低20%以上,占地面积减少40%以上。同时,十管PECVD设备还可以升级为二合一的背钝化镀膜设备,满足单台200MW  PERC高效电池背钝化镀膜功能。基于成本和场地的优势,相比于现有方案,十管PECVD设备为用户提供了一种更优更高效的PERC电池被钝化镀膜反感。

作为国内首创,十管PECVD设备将引领下一代PECVD设备的发展潮流,进一步提高电科装备PECVD设备的市场占有率,增强电科装备的影响力。

(来自:电科装备)