上海陛通:投资建设半导体高端装备制造项目(2019-7-18)



上海陛通投资建设半导体高端装备制造项目

627上海陛通半导体能源股份有限公司以下简称上海陛通在张江长三角科技城平湖园投资建设的年产100台半导体高端装备制造项目在浙江平湖市签约

上海陛通诗一家自主研发半导体高端装备的制造及服务供应商产品涵盖8英寸PVD、8英寸RID反应离子溅射台、12英寸CVD、PECVD等半导体设备项目总投资5亿元建成后预计年产值可达6亿元