北方华创:刻蚀机作为首批设备进入燕东微电子8英寸生产线(2019-7-18)



北方华创刻蚀机作为首批设备进入燕东微电子8英寸生产线

625北方华创科技集团股份有限公司以下简称北方华创)8英寸NMC508C刻蚀机作为首批设备搬入北京燕东微电子有限公司以下简称燕东厂房此举标志着燕东8英寸生产线项目从建设期向生产运营期迈出重要一步为年底出产2万片晶圆打下了坚实基础

除首台搬入的等离子硅刻蚀机外北方华创即将搬入生产线的设备还包含多晶硅刻蚀机金属刻蚀机深硅刻蚀机磁控溅射PVD、高温扩散炉中温氧化炉湿法清洗机湿法去胶机等设备

燕东8英寸生产线项目将是北京首条大规模量产8英寸的集成电路产线主要生产8英寸线宽达0.13μm集成电路芯片及其封装后的产品预计量产后月产能可达到5万片同时项目通过与国际顶尖驱动电路功率器件厂商合作将建成国内技术最先进的特色工艺产线

来自北方华创