半导体设备核心部件“终点检测系统A101-N1”通过科技成果鉴定
摘要：5月20日，由中国电子专用设备工业协会组织和主持，在上海车仪田科技有限公司召开了由上海车仪田科技有限公司（简称：车仪田）自主研制的“终点检测系统A101-N1”科技成果鉴定会。专家委员会专家听取了项目的研究报告、经济效益分析报告，并审查了该项目的测试报告、科技查新报告、用户使用报告等项目相关技术文件，考察了项
2025年16家中国半导体设备制造企业业绩继续增长
摘要：2025年，半导体设备进口继续受到管控，也给中国本土半导体设备产业得到了发展的机遇。在半导体设备国产化浪潮进一步驱动下，去年（除光伏设备外）大部分上市半导体设备制造企业在营收及净利润方面表现出了增长态势。16家上市半导体设备制造企业2025年总营收总计达到920.8亿元，同比增长达到32.33％，16家上市半导体设备制造
SEMICON China 2026展会众多会员推出半导体设备新产品
摘要：北方华创 发布全新12英寸设备，包括NMC612H电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备、Qomola HPD30混合键合设备、Gluoner R50 W2W混合键合设备，以及搭载自研AI-NEXUS系统的Ausip T830 TSV电镀设备。其中NMC612H聚焦先进逻辑与存储领域，可适配关键技术节点的逻辑芯片硅刻蚀、3D-NAND硅刻蚀和台阶刻蚀，以及DRAM制程中的导体和金属
协会组织和主持神州半导体研制的 《高深宽比等离子体刻蚀设备用多级脉冲射频电源》科技成果鉴定会
摘要：4月1日，中国电子专用设备工业协会组织和主持下，江苏神州半导体科技股份有限公司（简称：神州半导体）召开了由神州半导体公司研制的“高深宽比等离子体刻蚀设备用多级脉冲射频电源”科技成果鉴定会。该项成果的鉴定委员会委员听取了项目的研究报告、经济效益分析报告、应用报告，并审查了该项目的测试报告、科技查新
