2026-04-03 16:09:21
3月11日,中国电子专用设备工业协会在北京召开了2024年第二批团体标准送审稿评审会,由13位专家组成的标准审查组对《集成电路装备用13.56MHz射频电源通用技术规范》、《半导体清洗设备化学液混合排放通用规范》、《半导体设备前端模块通用技术条件》等三项团体标准送审稿进行了审查。
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