2026-04-24 10:27:44
4月1日，中国电子专用设备工业协会组织和主持下，江苏神州半导体科技股份有限公司（简称：神州半导体）召开了由神州半导体公司研制的“高深宽比等离子体刻蚀设备用多级脉冲射频电源”科技成果鉴定会。该项成果的鉴定委员会委员听取了项目的研究报告、经济效益分析报告、应用报告，并审查了该项目的测试报告、科技查新报告，审阅了该项目相关技术文件，考察了生产现场。鉴定委员会一致同意该设备通过科技成果鉴定。
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