离子注入机全球两家垄断80%，国产三家企业突围
2026-06-18 14:29:50
一、全球离子注入机市场，美国应用材料和亚舍立占据全球超过80%的市场份额
美国应用材料（Applied Materials，AMAT） 在离子注入领域占据全球约70%的市场份额。其产品线覆盖高电流、中电流、高能量和超低温注入全系列，尤其在先进制程的高端机型上具有压倒性优势。
美国亚舍立（Axcelis Technologies） 市场份额约15%-20%。其Purion系列平台在碳化硅（SiC）等化合物半导体的高温注入领域拥有独特的技术壁垒，在功率器件制造领域优势明显。两家合计占据全球超过80%的市场份额。
更关键的是，离子注入机长期以来被列为对华出口管制的敏感设备。部分高能量、超低温机型，中国企业即使有钱也买不到。
二、国产离子注入机正在国内三家公司展开突围。
1、上海凯世通半导体股份有限公司（简称：“凯世通”）经过多年研发和市场开拓，凯世通已实现低能大束流、高能注入、超低温注入三大类离子注入机的全系列覆盖。2025年实现营业收入7.36亿元，2026年一季度新增订单超过3.18亿元，同比继续增长。其设备已向国内多家头部晶圆厂批量交付。特别值得关注的是，凯世通的超低温离子注入机已在先进制程的关键工艺中得到应用，部分机型的性能指标已接近国际同类产品水平。
2、北京烁科中科信电子装备有限公司（简称：“中科信”）的部分型号离子注入机已进入国内主流晶圆产线进行验证，在成熟制程的离子注入环节具备了一定的替代能力。
3、芯嵛半导体（上海）有限公司（简称：“芯嵛半导体”）原本的12英寸大束流离子注入机已向国内多家头部晶圆厂实现批量交付，低温注入机iPUMA-LT也已完成首台出货，大束流各型号实现全覆盖。
三家企业的市场格局展望：方正证券研报预测，凯世通2026年离子注入机出货量有望超过60台，营收突破10亿元大关。加上芯嵛半导体和中科信的持续放量，国产离子注入机的总体市占率有望在未来两到三年内从目前的不到5%提升至15%以上。
三、差距
在大束流离子注入领域，国产设备已经具备了一定的替代能力，开始批量进入国内Fab厂。但在超低温注入、高能量注入等先进制程核心工艺环节，AMAT和Axcelis的技术壁垒依然高耸。此外，离子注入机的核心零部件——高压电源模块、高精度质量分析器、离子源灯丝——仍高度依赖进口。
（来自：半导体 2046）
