华海清科:首台8英寸晶圆留环减薄机Versatile-GR200出机
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摘要:近日,华海清科股份有限公司(简称:华海清科)自主研发的首台8英寸晶圆留环减薄机Versatile-GR200顺利出机,发往国内集成电路制造企业。该机型通过留环技术为超薄晶圆提供支撑,避免碎裂,可满足80微米以下加工需求,主要应用于功率器件领域。此举打破国际厂商垄断,为新能源汽车、储能等产业提供高性能、高性价比的国产装
盛美上海:首台PECVD SiCN设备顺利出机
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摘要:近日,盛美半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“盛美上海”)宣布,其首台等离子体增强化学气相沉积(PECVD)碳氮化硅(SiCN)设备已正式出机,现发往客户端进行最终验证。该设备专为300毫米晶圆工艺设计,最高工艺温度可达400摄氏度。该平台配置有四个晶圆装载口及三个工艺腔体,以支持高效的晶圆传送与工艺运行。该
晶盛机电:与V Technology合作携手进军半导体量检测高端市场
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摘要:浙江晶盛机电股份有限公司(简称:晶盛机电)与V Technology签署战略合作协议,双方将在中国成立合资公司,聚焦半导体量检测设备的研发、生产与销售。依托晶盛机电在半导体装备及智能制造领域的深厚积累,结合VTEC国际领先的量检测技术,合力推动设备国产化与智能化升级,打破高端市场技术壁垒,破解“卡脖子”难题。此次合
捷佳伟创:微纳米气泡水清洗设备成功出海
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摘要:近日,深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司(简称:捷佳伟创)首次将微纳米气泡水清洗工艺应用于半导体/先进封装清洗装备,成功出货至海外,为高端器件精细化清洗提供全新解决方案。该装备以微纳米气泡水为核心介质,无需化学试剂,环保高效;可适配TSV、微细电极等精密工艺,实现AR=10:1高纵横比TSV产品清洗,28nm级微小
华海清科:面向先进存储的新型12英寸晶圆减薄装备首台出机
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摘要:近日,华海清科股份有限公司(简称:华海清科)推出面向先进存储的新型12英寸晶圆减薄装备Versatile-GH300,首台已发往国内集成电路制造龙头企业。该机型集成超精密磨削技术,实现亚微米级加工精度,厚度控制行业领先;具备高刚性与智能调度,单机产出能力突出;模块化设计支持灵活配置。该装备进一步完善公司减薄系列矩阵,

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