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山东力冠：在8英寸氧化镓HVPE外延装备领域取得重要突破

2026-04-24 10:25:39

产品描述


山东力冠微电子装备有限公司（简称：山东力冠）于2026年4月在8英寸氧化镓HVPE外延装备领域取得突破。其博士团队采用8英寸蓝宝石衬底，成功验证了外延生长的膜厚与表面形貌均匀性。检测显示：膜厚超20μm，均匀性优于20%，最佳批次达5%以内，与4英寸设备水平相当；生长速率稳定在10~20 μm/h；异质外延形貌良好。该成果证明8英寸HVPE外延过程具备出色的可控性与一致性。

传统MOCVD技术生长速率仅1~2μm/h，难以满足万伏级器件所需几十微米厚外延层，而HVPE技术效率优势显著。山东力冠此次突破为氧化镓功率器件向更大尺寸、更高电压等级发展奠定了关键技术基础。                                                     

（来自：山东力冠）



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