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车仪田：完成新一轮融资，加速半导体核心零部件子系统国产化

2026-06-18 14:32:45

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上海车仪田科技有限公司(简称：“车仪田”)完成新一轮融资，由安芯投资领投，招银国际、财通资本、永鑫方舟跟投，老股东临港数科加码。资金将用于核心技术迭代、产能扩充及市场拓展。

车仪田专注半导体工艺制程诊断与控制子系统，拥有终点检测、高精度测温、加热带、臭氧系统等六大产品线，核心团队具备国内头部设备企业经验。融资后将加速打造国产多品类零部件平台，提升核心零部件国产化率。

（来自：车仪田）