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华海清科：获得国内首台全自动板级CMP量产装备订单

2026-06-18 14:33:14

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华海清科股份有限公司（简称：“华海清科”）自主研发的国内首台510×515mm全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX近日获先进封装领域重要客户订单，即将进入产线量产。

该装备专为板级封装设计，满足低缺陷、高均匀性与平坦化要求，助力CoPoS、FOPLP等先进工艺。此举填补国内板级CMP装备空白，推动自主产业链完善，标志着华海清科从晶圆级向板级延伸的重要突破。

（来自：华海清科）