2026-06-18 14:33:35
近日，晶盛机电下属公司浙江求是创芯半导体设备有限公司（以下简称“求是创芯”）多台先进制程核心薄膜沉积设备相继成功交付国内头部客户。
本次交付的12英寸减压外延生长设备聚焦先进逻辑与特色硅光器件两大核心领域，依托精准温场流程控制技术，实现高精度硅基薄膜沉积工艺，具备稳定性强、均匀性优异、缺陷可控等技术优势，能够全面满足硅光器件、先进逻辑、高端存储芯片的外延工艺需求，深度适配国产化先进晶圆制造工艺。
（来自：晶盛机电）
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